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      首頁> > 產品中心 > Zeta-388 自動多模式光學輪廓儀

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      Zeta-388 自動多模式光學輪廓儀
      品 牌 :KLA
      型 號 :Zeta-388
      產 地 :美國
      關鍵詞 :輪廓儀,共聚焦顯微鏡,缺陷檢測,白光干涉

          Zeta-388光學輪廓儀是自動化非接觸式3D表面形貌測量系統,具有集成的隔震系統和靈活的配置,并配備了 cassette-to-cassette的搬送系統,特別適合于自動化生產。該系統采用ZDot?技術和Multi-Mode (多模式)光學系統,可以對各種不同的樣品進行測量:透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的紋理,以及納米至毫米級別的臺階高度。

          Zeta-388的配置靈活并易于使用,并集合了六種不同的光學量測技術。ZDot?測量模式可同時采集高分辨率3D數據和True Color(真彩)無限遠焦點圖像。其他3D測量技術包括白光干涉測量、Nomarski干涉對比顯微鏡和剪切干涉測量。ZDot或集成寬帶反射儀都可以對薄膜厚度進行測量。Zeta -388提供全面的臺階高度、粗糙度和薄膜厚度測量,以及缺陷檢測能力,OCR和SECS/GEM功能使Zeta-388能夠在完全自動化的生產設施中使用。

          二、 功能

          主要功能

          臺階高度:納米到毫米級別的3D臺階高度

          紋理:平滑到非常粗糙表面的粗糙度和波紋度

          外形:3D翹曲和形狀

          應力:2D薄膜應力

          薄膜厚度:30nm到100μm透明薄膜厚度

          缺陷檢測:捕獲大于1μm的缺陷

          缺陷復檢:采用KLARF文件作為導航以測量缺陷的3D表面形貌或切割道缺陷位置

          技術特點

          Zeta-388是采用ZDot和Multi-Mode(多模式)光學器件的簡單易用的全自動光學輪廓儀,具有廣泛的應用:

          Z-Dot:同時采集高分辨率3D數據和True Color(真彩)無限遠焦點圖像

          ZXI:白光干涉測量技術,適用于Z向分辨率高的廣域測量

          ZIC:干涉對比度,適用于亞納米級別粗糙度的表面并提供其3D定量數據

          ZSI:剪切干涉測量技術提供z向高分辨率圖像

          ZFT:使用集成寬帶反射計測量膜厚度和反射率

          AOI:自動光學檢測,并對樣品上的缺陷進行量化

          生產能力:通過測序和圖案識別實現全自動測量,支持3D Scanning

      大尺寸Wafer測量:大測量尺寸可擴展至8寸

          技術能力



          三、應用

          肖特玻璃-表面粗糙度

          可用來測試玻璃等透明表面及不透明表面的形貌和表面粗糙度。


          太陽能電池–不同反射率表面形貌測量

          輕松獲得復雜差異化反射率樣品的表面形貌。


          MEMS器件–臺階高度和粗糙度

          小尺寸樣品nm級臺階精度,大尺寸樣品的亞微米臺階精度。

          鏡頭-完整的表面輪廓

          圖像拼接功能,可獲得大面積樣品的完整表面輪廓。

          高分子薄膜-膜厚測量

          可用于PI和PR薄膜的厚度測量,并可生成整片晶圓上的膜厚mapping。

          藍寶石-圖案化晶片表面缺

          可對特定缺陷進行三維輪廓掃描并進行相關測量,并對晶圓表面缺陷按尺寸、亮度、長寬比等進行分布統計并生成mapping。

          四、其他

          國內用戶

          南京大學

          南京郵電大學

          國外用戶

          麻省理工學院

          加州大學達拉斯分校

          耶魯大學

          德州大學奧斯汀分校

          西部數據

          應用材料

          博世

          萊徹斯特大學

          希捷

          相關文獻

          1. Maxym V.Rukosuyev, et al. One-step fabrication of superhydrophobic hierarchical structures by femtosecond laser ablation. Applied Surface Science, 2014,313,411-417.

          2. H. N. Shubha, et al. Preparation of Self Assembled Sodium Oleate Monolayer on Mild Steel and Its Corrosion Inhibition Behavior in Saline water. ACS Appl. Mater. Interfaces .2013,5,21,10738-10744.

          3. Marta Palacios-Cuesta, et al. Fabrication of Functional Wrinkled Interfaces from Polymer Blends: Role of the Surface Functionality on the Bacterial Adhesion. Polymers. 2014, 6,11, 2845-2861.

          4. Alberto Gallardo, et al. Chemical and Topographical Modification of Polycarbonate Surfaces through Diffusion/Photocuring Processes of Hydrogel Precursors Based on Vinylpyrrolidone. Langmuir .2017,33 ,7, 1614-1622.

          5. Aurora Nogales, et al. Wrinkling and Folding on Patched Elastic Surfaces: Modulation of the Chemistry and Pattern Size of Microwrinkled Surfaces. ACS Appl. Mater. Interfaces. 2017,9,23,20188-20195.

          6. Olga Kraynis, et al. Suitability of Raman Spectroscopy for Assessing Anisotropic Strain in Thin Films of Doped Ceria. Adv. Funct. Mater. 2019, 1804433,2-7.


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