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      首頁> > 產品中心 > Candela CS920表面缺陷檢測儀

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      Candela CS920表面缺陷檢測儀
      品 牌 :KLA
      型 號 :Candela CS920
      產 地 :美國
      關鍵詞 :Candela,表面缺陷,表面檢測,缺陷分析

          KLA Candela光學表面缺陷分析儀(OSA)可對半導體及光電子材料進行先進的表面檢測。Candela系列既能夠檢測Si、砷化鎵、磷化銦等不透明基板,又能對SiC、GaN、藍寶石和玻璃等透明材料進行檢測,成為其制程中品質管理及良率改善的有力工具。


          Candela系列采用光學表面分析(OSA)專用技術,可同時測量散射強度、形狀變化、表面反射率和相位轉移,為特征缺陷(DOI)進行自動偵測與分類。OSA檢測技術結合散射測量、橢圓偏光、反射測量與光學形狀分析等基本原理,以非破環性方式對Wafer表面的殘留異物,表面與表面下缺陷,形狀變化和薄膜厚度的均勻性進行檢測。Candela系列擁有良好的靈敏度,使用于新產品開發和生產管控,是一套極具成本效益的解決方案。

          二、 功能

          主要功能

          1. 缺陷檢測與分類

          2. 缺陷分析

          3. 薄膜厚度測量

          4. 表面粗糙度測量

          5. 薄膜應力檢測

          技術特點

          1. 單次掃描中結合四種光學檢測方法的單機解決方案,可實現高效的自動化缺陷檢測與分離;

          2. 對LED材料的缺陷進行自動檢測,從而增強襯底的質量管控,迅速確定造成缺陷的根本原因并改進MOCVD品質管控能力;

          3. 滿足多種工業要求,包括高亮度發光二極管(HBLED),高功率射頻電子器件,透明玻璃基板等技術;

          4. 在多個半導體材料系統中能更靈敏的檢測影響產品良率的缺陷。

          5. 自動缺陷分類功能(Auto Defect Classification)

      (Particle, Scratch, Pit, Bump, and Stain Detection)

          6. 自動生成缺陷mapping。

          技術能力

          1. 檢測缺陷尺寸>0.3μm;

          2. 大樣品尺寸:8 inch Wafer;

          3. 超過30種DOI的缺陷分類。

          三、應用案例

          1. 透明/非透明材質表面缺陷檢測

          2. MOCVD外延生長成膜缺陷管控

          3. PR膜厚均一性評價

          4. Clean制程清洗效果評價

          5. Wafer在CMP后表面缺陷分析


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