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      首頁> > 產品中心 > NX-3DM 可旋轉全自動原子力顯微鏡

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      NX-3DM 可旋轉全自動原子力顯微鏡
      品 牌 :Park
      型 號 :NX-3DM
      產 地 :韓國
      關鍵詞 :NX-3DM,原子力顯微鏡,AFM,SPM,掃描探針顯微鏡


          Park Systems推出NX-3DM全自動原子力顯微鏡系統,專為垂懸輪廓、高分辨率側壁成像和臨界角的測量而設計。借助XY軸和Z軸立掃描系統和傾斜式Z軸掃描器,NX-3DM成功克服精確側壁分析中的法向和喇叭形頭所帶來的挑戰。在True Non-Contact?模式下,XE-3DM可實現帶有高長寬比尖端的柔軟光刻膠的無損測量。


      納米測量的精確性和高通量需要搭配高成本效益的解決方案,才能夠從研究領域擴展到實際生產應用中。面對這一成本挑戰,Park Systems帶來了工業級的原子力顯微鏡解決方案,讓自動化測量更快、更高效,讓探針更耐久!我們放棄了慢速又昂貴的掃描電子顯微鏡,轉而采用高效、自動化且價格實惠的3D原子力顯微鏡,進一步降低線上工業制造的測量成本?,F如今,制造商需要3D信息來表現溝槽輪廓和側壁變形異特征,從而準確找到新設計中的缺陷。模塊化原子力顯微鏡平臺實現了快速的軟硬件更換,使得升級更為劃算,從而不斷優化復雜并且苛刻的生產質量控制測量。此外,我們的原子力顯微鏡探針使用壽命延長至少2倍,進一步減少購置成本。傳統的原子力顯微鏡采用輕敲式掃描,這讓探針更易磨損,而我們的True Non-Contact?模式能夠有效地保護探針,延長其使用壽命。



          基本技術

      200 mm電動XY平臺

      300 mm電動XY平臺

      電動Z平臺

      行程可達275mm x 200mm,

      0.5 μm分辨率

      行程可達400 mm x 300 mm,

      0.5μm分辨率 小于1μm的重現性

      27 mm Z行程距離

      0.08μm 分辨率小于1μm

      Z掃描范圍

      Z掃描噪音

      Z向探針噪音

      15μm大模式)分辨率 0.016nm

      2μm  小模式)分辨率 0.002nm

      小于0.05nm

      0.02 nm

      200mm 系統

      300mm 系統

      設備需求環境

      1500mm x980mm x 2050 mm

      大約1020kg

      1840mm x 1170 mm x2050 mm

      大約 2950 kg

      室溫10 ~40

      操作18 ~24

      濕度 30%~60%


          主要功能

          創新的3D測量方法

      側切和外伸輪廓;臨界尺寸;側壁粗糙度測量

          工業界低的噪音

          靜電消除系統確保穩定的掃描環境

          自動測量控制,提高效率

          

          應用

      臨界尺寸和側壁測量

      A、光刻膠致密線紋的橫截面SEM圖像;B、三維AFM圖像;C、模板AFM輪廓線



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