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      首頁> > 產品中心 > 電阻率測試儀

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      電阻率測試儀
      品 牌 :KLA-Filmetrics
      型 號 :R50-4PP/R50-EC/R50-200-4PP/R50-200-EC
      產 地 :美國
      關鍵詞 :方塊電阻、四探針測試儀、非接觸方塊電阻

      Filmetrics的薄膜電阻測量設備開發源自于有著超過30年經驗的KLA的薄膜電阻計量技術,并由20臺式測量設備開發經驗的Filmetrics團隊完善了桌面式方塊電阻測量產品。KLA薄膜電阻測量技術包括接觸(4PP)和非接觸(EC)方法。

      Filmetrics的R50系列方塊電阻測量儀器可測量沉積在各種基材上的導電片和薄膜,跨越10個數量級范圍電阻率,包括:

      半導體晶圓基板

      玻璃基板

      塑料(柔性)基材

      PCB圖案特征

      太陽能電池

      平板顯示層和圖案化特征

      金屬箔

      二、主要功能

      技術規格

      測量范圍:5m Ohm/sq - 5M Ohm/sq;

      測量精度: +/- 1%;

      重復度: 小于 0.2%;

      樣品圖中無限量的測量點位,自定義測量Recipe,可線性、矩形、

      極坐標以及自定義等。

      Model

      Description

      R50-4PP

      四探針測試

      自動XY移動臺-100mm*100mm

      可實現直接100mm晶圓方塊電阻mapping測量

      可放置直徑200mm晶圓樣品

      R50-EC

      非接觸渦流測試

      自動XY移動臺-100mm*100mm

      可實現直接100mm晶圓方塊電阻mapping非接觸測量

      可放置直徑200mm晶圓樣品

      R50-200-4PP

      四探針測試

      自動XY移動臺-200mm*200mm

      可實現直接200mm晶圓方塊電阻mapping測量

      R50-200-EC

      非接觸渦流測試

      自動XY移動臺-200mm*200mm

      可實現直接200mm晶圓方塊電阻mapping非接觸測量

       三、應用

      支持廣泛的測量,包括但不限于以下各項:

      金屬膜厚度、基板厚度、方塊電阻、電阻率、電導率、摻雜濃度等。

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