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      棱鏡耦合儀
      品 牌 :Sairon Tech
      型 號 :SPA-4000
      產 地 :韓國
      關鍵詞 :折射率、膜厚、熱光系數、波導損耗

             SPA系列可以提供精確的、非接觸、無損膜厚度測量,適用于薄膜厚度在2-100μm的聚合物材料、硅基氧化膜、硅基玻璃膜,在干涉條紋產生的基礎上通過改變角度產生干涉條紋(VAMFO-變角度單色條紋觀測)的方法。對于厚膜折射率的測量,單色光被直接照射到被測樣品上,這樣,從薄膜表面反射回來的光的干涉小值就會發生變化,光的入射角也會發生變化。在這種技術中,薄膜厚度是由兩個干涉小值的角的位置計算出來的。對于這種測量條件——薄膜具有兩個或兩個以上的干擾小值——薄膜厚度必須大于低脫粒率,通常為2微米。樣品夾持機采用真空從背面支撐樣品,安裝方便簡單??蓽y量薄膜/基底的類型,硅襯底上幾乎任何透明或半透明材料的氧化物、氮化物、介質、聚合物或薄膜??蓽y量的薄膜/襯底類型:氧化物、氮化物、介電材料、聚合物、或硅襯底上幾乎任何透明或半透明材料的薄膜。


      采用帶溫控臺的SPA-4000雙棱鏡對材料薄膜的光熱學系數進行了測量,材料的光熱系數被定義為折射率隨溫度變化的函數,可以被用作光學數字開關,Mach-Zehnder間距式和交叉式光學開關,這些光器件通過改變溫度來控制光路,在網絡通信中起著關鍵作用。該材料中廣泛引用的光學效應理論Prod’homme理論


      產品特性:

      1. 薄膜及波導折射率/厚度/光損測量

      2. 折射率和薄膜厚度的高分辨率測量

      3. 準確測量散裝或基材材料

      4. 雙層薄膜測量(甚至在波長1310 nm或1550 nm處有幾個~?厚度)

      5. 不相關的薄膜/基板組合

      6. 無需預先知識,操作簡單。

      7. 批量或基板材料的準確測量

      8. 各向異性/雙折射測量(TE和TM能力)

      9. 快速表征

      10. 可用于波長范圍內的許多激光器(632.8nm~1550nm)


      技術指標:

      測量指標

      范圍

      折射率

      折射率測量范圍

      1.0 to 2.45

      折射率精度

      0.001

      折射率分辨率

      ±0.0005

      厚度

      厚度測量范圍

      0.4?-20?

      厚度精確度

      ±0.5%

      厚度分辨率

      ±0.01?

      體材料

      折射率精度

      0.0005

      (僅測折射率)

      折射率分辨率

      ±0.0001

      厚薄膜

      厚度測量范圍

      2?-150?

      液體

      折射率測量范圍

      1.0 to 2.4

      (僅測折射率)

      折射率精度

      ± 0.0005

      熱光系數

      溫度測試范圍

      室溫-150℃

      波導損耗測量

      測量限度

      below 0.05dB/cm


      三、應用

      光通信系統的光學元件

           - 光學開關

           - 用于WDM的可變光衰減器(VOA)(波分復用)

           - 低光傳播損耗

      塑料光纖(POF)

           - 用于光通信的塑料光纖放大器(POFA)

           - 用于波導的高溫聚合物

      溫度依賴性

      聚合物的性質

           - 研究聚合物的鉻性質

           - 信息顯示和處理

           - 存儲材料

      納米器件:MEMS,微電子


      應用領域:

      使用SPA系列棱鏡耦合儀可以測量所有類型的薄膜/基材。具體請參看下面表格。

      這些散裝和立式膠片是可測量的。

      薄膜類型

      襯底類型

      氮化硅

      氮化硅

      二氧化硅

      ITO

      砷化鎵

      硅氮氧化物

      藍寶石

      石英

      Low-K Films

      硫化鋅

      玻璃

      聚酰亞胺

      二氧化鈦

      藍寶石

      聚合物

      Epi石榴石

      GGG

      光刻膠

      全息凝膠

      鈮酸鋰




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