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      首頁> > 產品中心 > Zeta20 多模式三維光學輪廓儀

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      Zeta20 多模式三維光學輪廓儀
      品 牌 :KLA
      型 號 :Zeta-20
      產 地 :美國
      關鍵詞 :輪廓儀,共聚焦顯微鏡,粗糙度,白光干涉

          Zeta-20 臺式光學輪廓儀是非接觸式3D表面形貌測量系統。該系統采用ZDot?  技術和 Multi-Mode (多模式)光學系統,可以對各種不同的樣品進行測量:透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的紋理,以及納米至毫米級別的臺階高度。

          Zeta-20 的配置靈活并易于使用,并集合了六種不同的光學量測技術。ZDot? 測量模式可同時采集分辨率 3D 數據和 True Color(真彩)無限遠焦點圖像。其他3D 測量技術包括白光干涉測量、Nomarski 干涉對比顯微鏡和剪切干涉測量。ZDot 或集成寬帶反射儀都可以對薄膜厚度進行測量。Zeta-20 也是顯微鏡,可用于樣品復檢或自動缺陷檢測。 Zeta-20 通過提供臺階高度、粗糙度和薄膜厚度的測量以及缺陷檢測功能,適用于研發及生產環境。


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