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      X射線圖
      品 牌 :NTTAT
      型 號 :多種
      產 地 :日本
      關鍵詞 :X射線

          NTT的X射線圖的大特點是高耐X射線輻射性、超清晰圖案和低邊緣粗糙度。本公司基于Ta吸收體圖的SiC膜極其精確,能為用戶的X射線分析系統評估提供清晰的圖像

      有三種X射線圖可應用于各種方面:標準型、高分辨率和高對比度型以及超高分辨率型??蔀橛脩舻南到y定制圖案布局和基板尺寸。

      項目

      標準型

      XRESO-100

      高分辨率型

      帶較厚Ta

      吸收體

      XRESO-50HC

      新??!

      超高分辨率

      XRESO-20

      基板

      材料、尺寸

      Si 10 mm2

      厚度

      1mm

      1mm

      0.625mm

      材料、

      厚度

      Ru 20 nm

      SiN 2μm

      Ru 20 nm

      SiC 200 nm

      SiN 50 nm

      Ru 20 nm

      SiC 200 nm

      SiN 50 nm

      圖案

      吸收體、

      厚度

      Ta 1μm

      Ta 500 nm

      Ta 100 nm

      小圖案尺寸

      100 nm

      50 nm

      20 nm

      放射形圖案

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