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      膜厚測量儀
      品 牌 :KLA-Filmetrics
      型 號 :F10-RT
      產 地 :美國
      關鍵詞 :膜厚儀、薄膜厚度、同時測量反射和透射

      KLA的Filmetrics系列利用光譜反射技術實現薄膜厚度的精確測量,其測量范圍從nm-mm,可實現如光刻膠、氧化物、硅或者其他半導體膜、有機薄膜、導電透明薄膜等膜厚精確測量,被廣泛應用于半導體、微電子、生物醫學等領域。Filmetrics具有F10-HC、F20、F32、F40、F50、F60-t等多款產品,可測量從幾mm到450mm大小的樣品,薄膜厚度測量范圍1nm到mm級。Filmetrics F10-RT以真空鍍膜為設計目標,只要單擊鼠標即可獲得反射和透射光譜。 不需要費時改變硬件配置,F10-RT-UV 僅需要透過單擊鼠標就能夠同時收集反射與透射光譜,不到一秒鐘的時間,陣列的光譜儀就可以快速的收集到資料。另外,Filmetrics 專用的Autobaseline 設計可以減少十倍以上的基準校準的參數讀取時間。只需傳統價格的一小部分,用戶就能進行低/高分析、確定 FWHM 并進行顏色分析??蛇x的厚度和折射率模塊讓您能夠充分利用 Filmetrics F10 的分析能力。測量結果能被快速地導出和打印。


      一、 主要功能

      主要應用

      同步測量薄膜的反射率和穿透率

      ?   空間色彩系統的色彩分析

      ?   多層薄膜分析能力

      ?   膜厚和參數解算模塊

      技術能力

      光譜波長范圍:380-1050 nm

      厚度測量范圍:15nm-70μm

      測量n&k小厚度:100 nm

      準確度:取較大值,2nm或0.4%

      精度:0.1nm

      穩定性:0.07nm

      光斑大?。?mm

      二、 應用

      半導體制造:光刻膠、氧化物、氮化物

      液晶顯示器:液晶間隙、聚酰亞胺保護膜、納米銦錫金屬氧化物

      生物醫療原件:聚合物/聚對二甲苯涂層、生物膜/氣泡球厚度、藥物涂層支架

      微機電系統:硅膜、氮化鋁/氧化鋅薄膜濾鏡

      光學鍍膜:硬鍍膜、增透鍍膜、Filters濾光



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