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      納米材料

      所有常規原子力顯微鏡功能的條件下,基于的光誘導力顯微鏡(Photo-induced Force Microscope, PiFM)技術,結合波長可調的可見-紅外光源,從而實現10nm以下空間分辨可見~紅外成像與光譜采集,無需遠場光學接收器及光譜儀。

      高精度表面形貌,電學、力學、磁學測試

      微納米壓痕、劃痕摩擦磨損測試、高溫納米壓痕測試

      臺階高度、表面輪廓、應力應變測試

      電鏡原位AFM,亞納米形貌、力學、電學、磁學表征

      探針臺、I-V,C-V,直流、射頻、微波測試

      微納米壓痕、劃痕摩擦磨損測試,楊氏模量、硬度

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